проект Параметры конфигурации или марки моделей
Основная рама (стойка + мрамор и т. д.) Шаньдун Гаотан
контроллер АТ420
линейка решетки Металлическая линейка 0.5UM
Мотор + водитель X Хэчуань 100 Вт
Y Hechuan 100 Вт
Z Hechuan 100 Вт с тормозом
гид ГВ6
камера Число 1,3 миллиона, опционально 2 миллиона
объектив Ручной PMS (опционально автоматический)
Источник света (кольцевой свет + нижний свет) 3 кольца и 8 зон (опционально 5 колец и 8 зон, 40 фаз)
контроллер источника света AT420 имеет собственный протокол
Другие дополнительные датчики конфигурации Датчик RENISHAW MCP
KEYENCE G30 Лазер
Омрон SW-S7000
Внутренний вертикальный белый свет
программное обеспечение осмотр (SD)